진공 스퍼터링 시스템 고진공 스퍼터링 시스템은 최대 300밀리미터 크기의 기판에 금속 및 유전체 박막을 증착하는 장비입니다. 이 시스템은 고주파(RF), 직류(DC) 또는 펄스 직류로 구동되는 마그네트론 스퍼터링 소스를 사용하며, 단일 모드 또는 동시 증착(코-디포지션) 모드로 작동합니다. 모듈식 구조를 채택하여 설치와 운반, 유지보수가 간편합니다. 외장은 냉간압연강판을 판금 성형한 후 도장 마감하였으며, 알루미늄 내부 프레임과 반투명 그레이 아크릴 커버로 구성됩니다. 제어 화면은 인체공학적 원리에 따라 설계되었습니다.

프로젝트 이름 : Ultra High Vacuum Sputtering System, 디자이너 이름 : Yong Zhang, 고객의 이름 : Huaiyin Institute of Technology & Liaoning Petrochemical University.

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